脉冲直流溅射电源研究与应用 引言 随着现代电子技术的飞速发展,脉冲直流溅射电源在众多工业领域,特别是电子工业领域中,显示出越来越重要的作用。它在薄膜制备、集成电路制造、平板显示技术等领域发挥着至关...
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